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三硅化五鈦 Titanium silicide(Ti5Si3 )
產(chǎn)品名稱:三硅化五鈦(Ti5Si3) 規(guī)格:0.8-10um(D50)   形貌:不規(guī)則 顏色:黑灰色  特點(diǎn):高熔點(diǎn)、低密度、良好的高溫穩(wěn)定性、抗氧化性 用途:光學(xué)涂層
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產(chǎn)品詳情
三硅化五鈦 Titanium silicide(Ti5Si3 )

產(chǎn)品名稱:三硅化五鈦(Ti5Si3

規(guī)格:0.8-10um(D50)  

形貌:不規(guī)則

顏色:黑灰色 

特點(diǎn):高熔點(diǎn)、低密度、良好的高溫穩(wěn)定性、抗氧化性

用途:光學(xué)涂層

 

 

 

 

 

 

名稱:三硅化五鈦

分子式:Ti5si3

Cas:12067-57-1

外觀:灰黑色

熔點(diǎn):2130℃

沸點(diǎn):2130℃

密度:4.39g/cm3

分子量:323.59

用途:硅化鈦被廣泛應(yīng)用于金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS),金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET)和動態(tài)隨機(jī)存儲器(DRAM)的門、源/漏極、互聯(lián)和歐姆接觸的制造當(dāng)中。

三硅化五鈦的性能與使用:

Ti5Si3具有熔點(diǎn)高(2130℃)、密度低(4.65g/cm3)及優(yōu)異的高溫性能如高的高溫硬度、良好的高溫穩(wěn)定性、抗氧化性,能有希望用于1300℃以上的高溫結(jié)構(gòu)材料。Ti5Si3的熔點(diǎn)與高溫結(jié)構(gòu)陶瓷相接近甚至更高,但其密度卻遠(yuǎn)低于一些高溫結(jié)構(gòu)陶瓷與高溫合金,與鈦合金相當(dāng),具備了在高溫下使用的潛力。另外,由于其電阻和熱阻均較低,Ti5Si3也有希望用于電氣連接結(jié)構(gòu)和擴(kuò)散阻擋層。

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